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Evaluation of new materials for MEMS


In the area of new materials for MEMS, projects are focused on the static and dynamic characterization of polymer materials for use in MEMS devices. Experiments are conducted to determine the mechanical properties of thin polymer layers on micron scale, like Young's modulus and stress and those properties that may affect the reliability of devices, such as fatigue, ultimate strength, and creep.

Ongoing projects:


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© 2015 ETH Zurich | Imprint | Disclaimer | 20 February 2013